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硅片清洗如何 硅片的清洗方法
2022-09-15 14:51:22  浏览:214

硅片清洗如何 硅片的清洗方法

1、首先去除硅片表面的有机沾污,因为有机物会遮盖部分硅片表面,从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除;

2、然后溶解氧化膜,因为氧化层是“沾污陷阱”,也会引入外延缺陷;最后再去除颗粒、金属等沾污,同时使硅片表面钝化。